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當前位置：真空FAQ

離子泵如何提高對惰性氣體的抽氣效率？

發(fā)布日期：2026-4-1 10:07:21 訪問次數(shù)：166

惰性氣體（如氬氣）不能通過化學吸附作用進行抽除；因此，必須將這些惰性氣體原子引向陽極，并在陽極被抽除。實現(xiàn)這一過程有兩種方式：使用更重的陰極材料（如鉭），或采用不同的幾何結構（如 Triode 結構）。

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