當(dāng)必須達(dá)到超高真空或更高真空度（1 × 10–10 至 1 × 10–11 mbar，如粒子加速器中）時(shí)，需要使用離子泵。離子泵的工作范圍通常從 1 × 10-5 至 1 × 10-6 mbar 開始，應(yīng)首先使用渦旋式干泵獲得這一范圍的基礎(chǔ)真空。雖然離子泵不是真空計(jì)，但其電流讀數(shù)可以作為泵內(nèi)所達(dá)到的真空水平的參考指示。

離子泵主要有兩種類型：Diode 和 Triode。具體選擇哪種類型取決于待抽氣體，如需進(jìn)一步提高抽氣性能，可使用鈦升華泵或非蒸散型吸氣劑泵芯?？勺稍兾覀冞M(jìn)行產(chǎn)品選型。

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